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2020-03-21  阅读次数:

  青岛科技大年夜学

  硕士学位论文

  化学气相聚积碳氮膜及金刚石膜的研究

  姓名:唐见波

  央肄业位级别:硕士

  专业:资料物理与化学

  指导教员:石玉龙

  20080602

  青岛科技大年夜学研究生学位论文

  化学气相聚积碳氮膜及金刚石膜的研究

  摘要

  超硬资料是资料迷信研究的抢手课题之一。氮化碳作为一种实际推算出的新

  型超硬资料已成为近几年研究的核心,金刚石是超硬资估中研究比拟成熟的一

  类。本任务主要有两个局部:(1)应用自行研制的直流等离子体化学气相聚积设

  自行研制的热丝化学气相聚积装备在Si(111)面上聚积金刚石薄膜。对试验制

  红外光谱仪(FRn.)、拉曼光谱仪(RAMAN)等测试手腕停止检测。

  氮化碳薄膜的测试结果标明:本试验条件下可以掉掉落致密平均的膜层,膜层

  中含有p.C3N4、a.C3N4及其它的碳氮化合物,在此基础上研究了各项工艺参数,

  包罗气体流量比、放电功率、反应压强等对膜层功用的影响。发现在必然范围内

  随着N2在反应气体中百分含量的添加,掉掉落的膜层N元素的含量也增大年夜;提高

  放电功率有助于增大年夜膜层聚积速度;必然范围内较高的聚积存强掉掉落的膜层比拟

  致密平均。

  本文还研究了应用热丝化学气相聚积法在Si(111)上聚积金刚石膜的工艺

  规律和特色。研究结果标明,碳纳米管在促进金刚石形核过程当中,形核密度比在

  通俗研磨硅片上的高,聚积掉掉落的金刚石膜致密平均。在此基础上评论辩论了各项工

  艺参数对膜层发展的影响。并对CNT形核发展金刚石和金刚石纳米管的过程进

  行了评论辩论。

  关键词:等离子化学气相聚积氮化碳金刚石碳纳米管

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  ABSTRACT

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